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    2022-2026年中國薄膜沉積設備行業深度調研及投資前景預測報告

    首次出版:2022年9月最新修訂:2022年9月交付方式:特快專遞(2-3天送達)

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    十四五將是中國技術和產業升級的關鍵期,重點機會有哪些?
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    報告目錄內容概述 定制報告

    第一章 薄膜沉積設備行業相關概述
    1.1 半導體設備行業相關概念
    1.1.1 行業基本概念
    1.1.2 行業主要分類
    1.1.3 投資價值占比
    1.2 薄膜沉積設備行業基本介紹
    1.2.1 行業基本概念
    1.2.2 行業主要類別
    1.2.3 設備技術對比
    第二章 2020-2022年半導體設備行業發展綜合分析
    2.1 2020-2022年全球半導體設備行業發展狀況
    2.1.1 市場規模狀況
    2.1.2 市場區域分布
    2.1.3 市場產品結構
    2.1.4 企業競爭格局
    2.1.5 行業投資狀況
    2.2 2020-2022年中國半導體設備行業發展分析
    2.2.1 市場規模狀況
    2.2.2 國產化率情況
    2.2.3 企業產品布局
    2.2.4 企業營收排名
    2.2.5 對外貿易狀況
    2.3 中國半導體設備行業上市公司財務狀況
    2.3.1 上市公司規模
    2.3.2 上市公司分布
    2.3.3 經營狀況分析
    2.3.4 盈利能力分析
    2.3.5 營運能力分析
    2.3.6 成長能力分析
    2.3.7 現金流量分析
    2.4 中國半導體設備行業發展展望
    2.4.1 行業發展路徑
    2.4.2 市場需求潛力
    2.4.3 行業發展前景
    第三章 2020-2022年中國薄膜沉積設備行業發展環境分析
    3.1 政策環境
    3.1.1 行業監管主體部門
    3.1.2 行業相關發展政策
    3.1.3 企業稅收優惠政策
    3.1.4 產業投資基金支持
    3.2 經濟環境
    3.2.1 世界經濟形勢分析
    3.2.2 國內宏觀經濟概況
    3.2.3 工業經濟運行情況
    3.2.4 固定資產投資狀況
    3.2.5 國內宏觀經濟展望
    3.3 社會環境
    3.3.1 數字經濟發展基礎
    3.3.2 電子信息產業運行
    3.3.3 科技研發投入狀況
    3.3.4 技術人才培養情況
    第四章 2020-2022年薄膜沉積設備行業發展綜合分析
    4.1 2020-2022年全球薄膜沉積設備行業發展狀況
    4.1.1 全球市場規模
    4.1.2 全球市場結構
    4.1.3 全球競爭格局
    4.2 2020-2022年中國薄膜沉積設備行業發展狀況
    4.2.1 國內主要廠商
    4.2.2 國內中標情況
    4.2.3 國產化率情況
    4.2.4 國內需求分析
    4.3 2020-2022年CVD設備行業發展分析
    4.3.1 行業基本概念
    4.3.2 產業鏈條結構
    4.3.3 市場規模狀況
    4.3.4 市場結構占比
    4.3.5 市場競爭格局
    4.3.6 細分市場格局
    4.4 2020-2022年PVD設備行業發展分析
    4.4.1 行業基本概念
    4.4.2 工藝類型對比
    4.4.3 產業鏈條分析
    4.4.4 行業產值規模
    4.4.5 市場規模狀況
    4.4.6 市場區域結構
    4.4.7 市場競爭格局
    第五章 薄膜沉積設備行業相關技術發展分析
    5.1 物理氣相沉積技術發展分析
    5.1.1 技術基本簡介
    5.1.2 技術基本分類
    5.1.3 技術研究進展
    5.1.4 技術應用狀況
    5.1.5 未來發展展望
    5.2 化學氣相沉積技術研究與應用進展
    5.2.1 化學氣相沉積技術原理
    5.2.2 先進集成電路工藝應用
    5.2.3 其他領域技術應用狀況
    5.3 原子層沉積技術發展分析
    5.3.1 技術基本原理
    5.3.2 技術發展優點
    5.3.3 關鍵技術分析
    5.3.4 技術應用狀況
    第六章 2020-2022年中國薄膜沉積設備行業相關進出口數據分析
    6.1 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進出口數據分析
    6.1.1 進出口總量數據分析
    6.1.2 主要貿易國進出口情況分析
    6.1.3 主要省市進出口情況分析
    6.2 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進出口數據分析
    6.2.1 進出口總量數據分析
    6.2.2 主要貿易國進出口情況分析
    6.2.3 主要省市進出口情況分析
    6.3 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進出口數據分析
    6.3.1 進出口總量數據分析
    6.3.2 主要貿易國進出口情況分析
    6.3.3 主要省市進出口情況分析
    第七章 2020-2022年薄膜沉積設備主要應用領域發展綜合分析
    7.1 集成電路領域
    7.1.1 集成電路產業銷售規模
    7.1.2 集成電路產量規模分析
    7.1.3 集成電路產業結構分布
    7.1.4 集成電路企業注冊數量
    7.1.5 集成電路產業貿易狀況
    7.1.6 薄膜沉積設備應用前景
    7.2 光伏電池領域
    7.2.1 光伏電池產業發展背景
    7.2.2 光伏電池行業基本概述
    7.2.3 光伏電池行業產量規模
    7.2.4 光伏電池轉換效率變化
    7.2.5 光伏電池技術路線占比
    7.2.6 光伏電池企業數量規模
    7.2.7 薄膜沉積設備應用情況
    7.2.8 薄膜沉積設備發展前景
    7.3 新型顯示領域
    7.3.1 新型顯示產業支持政策
    7.3.2 新型顯示主要技術對比
    7.3.3 新型顯示產業營業收入
    7.3.4 新型顯示細分市場發展
    7.3.5 新型顯示未來發展趨勢
    7.3.6 薄膜沉積設備應用前景
    7.4 先進封裝領域
    7.4.1 先進封裝產業發展背景
    7.4.2 先進封裝行業基本概述
    7.4.3 先進封裝行業發展歷程
    7.4.4 先進封裝市場規模狀況
    7.4.5 先進封裝行業所需設備
    7.4.6 先進封裝技術發展展望
    7.4.7 薄膜沉積設備應用前景
    第八章 2020-2022年國外薄膜沉積設備行業重點企業經營狀況分析
    8.1 應用材料(AMAT)
    8.1.1 企業發展概況
    8.1.2 沉積設備布局
    8.1.3 2020年企業經營狀況分析
    8.1.4 2021年企業經營狀況分析
    8.1.5 2022年企業經營狀況分析
    8.2 泛林半導體(Lam)
    8.2.1 企業發展概況
    8.2.2 沉積設備布局
    8.2.3 2020年企業經營狀況分析
    8.2.4 2021年企業經營狀況分析
    8.2.5 2022年企業經營狀況分析
    8.3 東京電子(TEL)
    8.3.1 企業發展概況
    8.3.2 沉積設備布局
    8.3.3 2020年企業經營狀況分析
    8.3.4 2021年企業經營狀況分析
    8.3.5 2022年企業經營狀況分析
    8.4 先晶半導體(ASMI)
    8.4.1 企業發展概況
    8.4.2 沉積設備布局
    8.4.3 2020年企業經營狀況分析
    8.4.4 2021年企業經營狀況分析
    8.4.5 2022年企業經營狀況分析
    第九章 2019-2022年中國薄膜沉積設備行業重點企業經營狀況分析
    9.1 北方華創科技集團股份有限公司
    9.1.1 企業發展概況
    9.1.2 企業業務狀況
    9.1.3 沉積設備布局
    9.1.4 經營效益分析
    9.1.5 業務經營分析
    9.1.6 財務狀況分析
    9.1.7 核心競爭力分析
    9.1.8 公司發展戰略
    9.1.9 未來前景展望
    9.2 拓荊科技股份有限公司
    9.2.1 企業發展概況
    9.2.2 沉積設備布局
    9.2.3 經營效益分析
    9.2.4 業務經營分析
    9.2.5 財務狀況分析
    9.2.6 核心競爭力分析
    9.2.7 公司發展戰略
    9.2.8 未來前景展望
    9.3 中微半導體設備(上海)股份有限公司
    9.3.1 企業發展概況
    9.3.2 沉積設備布局
    9.3.3 經營效益分析
    9.3.4 業務經營分析
    9.3.5 財務狀況分析
    9.3.6 核心競爭力分析
    9.3.7 公司發展戰略
    9.3.8 未來前景展望
    9.4 盛美半導體設備(上海)股份有限公司
    9.4.1 企業發展概況
    9.4.2 沉積設備布局
    9.4.3 經營效益分析
    9.4.4 業務經營分析
    9.4.5 財務狀況分析
    9.4.6 核心競爭力分析
    9.4.7 公司發展戰略
    9.4.8 未來前景展望
    9.5 江蘇微導納米科技股份有限公司
    9.5.1 企業發展概況
    9.5.2 主要產品情況
    9.5.3 競爭優劣勢分析
    9.5.4 業務布局狀況
    9.5.5 企業發展動態
    9.5.6 未來發展戰略
    第十章 中國薄膜沉積設備行業典型項目投資建設深度解析
    10.1 高端半導體設備擴產項目
    10.1.1 項目基本概況
    10.1.2 項目投資必要性
    10.1.3 項目投資可行性
    10.1.4 項目投資概算
    10.1.5 項目建設安排
    10.2 先進半導體設備的技術研發與改進項目
    10.2.1 項目基本概況
    10.2.2 項目投資目的
    10.2.3 項目投資概算
    10.2.4 項目建設安排
    10.2.5 項目選址情況
    10.3 ALD設備研發與產業化項目
    10.3.1 項目基本概況
    10.3.2 項目投資目的
    10.3.3 項目投資概算
    10.3.4 項目建設安排
    10.3.5 項目選址情況
    10.4 基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目
    10.4.1 項目基本概況
    10.4.2 項目投資必要性
    10.4.3 項目投資可行性
    10.4.4 項目投資概算
    10.4.5 項目進度安排
    10.5 基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目
    10.5.1 項目基本概況
    10.5.2 項目投資目的
    10.5.3 項目投資概算
    10.5.4 項目進度安排
    10.5.5 項目選址情況
    第十一章 2022-2026年中國薄膜沉積設備行業投資分析及前景預測
    11.1 中國薄膜沉積設備行業投資分析
    11.1.1 行業投資機會
    11.1.2 企業上市情況
    11.1.3 行業投資壁壘
    11.1.4 行業投資風險
    11.1.5 企業投資策略
    11.2 中國薄膜沉積設備行業發展前景分析
    11.2.1 行業發展機遇
    11.2.2 未來發展方向
    11.2.3 行業發展趨勢
    11.3 中投顧問對2022-2026年中國薄膜沉積設備行業預測分析
    11.3.1 2022-2026年中國薄膜沉積設備行業影響因素分析
    11.3.2 2022-2026年全球薄膜沉積設備市場規模預測
    11.3.3 2022-2026年中國CVD設備市場規模預測

    圖表目錄

    圖表 集成電路產業鏈
    圖表 集成電路前道制造工藝流程主要設備
    圖表 主要半導體設備分類示意圖
    圖表 半導體設備投資占比情況
    圖表 薄膜沉積設備分類
    圖表 PVD、CVD、ALD薄膜沉積效果示意圖
    圖表 PVD、CVD、ALD技術優劣勢及主要應用領域
    圖表 2015-2021年全球半導體設備市場規模及增長率
    圖表 2021年全球半導體設備主要國家銷售額分布
    圖表 2021年全球半導體設備細分類型結構占比
    圖表 全球半導體設備代表性企業
    圖表 2021年全球前十五大半導體設備廠商
    圖表 2017-2022年全球半導體設備行業投資狀況
    圖表 2015-2021年中國半導體設備市場規模及增長率
    圖表 2021年中國半導體設備國產化占比情況
    圖表 2020年中國半導體設備與原材料國產化率
    圖表 國內半導體設備企業產品布局
    圖表 2021年國內上市公司半導體設備業務營收排名Top10
    圖表 2017-2021年中國主要半導體設備進口額
    圖表 2022年中國半導體設備貿易伙伴排名
    圖表 半導體設備行業上市公司名單
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司資產規模及結構
    圖表 半導體設備行業上市公司上市板分布情況
    圖表 半導體設備行業上市公司地域分布情況
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司營業收入及增長率
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司凈利潤及增長率
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司毛利率與凈利率
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司營運能力指標
    圖表 2021-2022年半導體設備行業上市公司營運能力指標
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司成長能力指標
    圖表 2021-2022年半導體設備行業上市公司成長能力指標
    圖表 2017-2021年半導體設備行業上市公司銷售商品收到的現金占比
    圖表 2020-2022年中國薄膜沉積設備行業相關政策匯總
    圖表 一期大基金投資各領域份額占比
    圖表 國家集成電路產業基金二期出資方(一)
    圖表 國家集成電路產業基金二期出資方(二)
    圖表 國家集成電路產業投資基金二期投資方向
    圖表 大基金一期與大基金二期對比
    圖表 2017-2021年國內生產總值及其增長速度
    圖表 2017-2021年三次產業增加值占國內生產總值比重
    圖表 2022年二季度和上半年GDP初步核算數據
    圖表 2017-2022年GDP同比增長速度
    圖表 2017-2021年全部工業增加值及其增長速度
    圖表 2021年主要工業產品產量及其增長速度
    圖表 2021-2022年規模以上工業增加值同比增長速度
    圖表 2022年規模以上工業生產主要數據
    圖表 2021年三次產業投資占固定資產投資比重(不含農戶)
    圖表 2021年分行業固定資產投資(不含農戶)增長速度
    圖表 2021年固定資產投資新增主要生產與運營能力
    圖表 2021年房地產開發和銷售主要指標及其增長速度
    圖表 2021-2022年固定資產投資(不含農戶)月度同比增速
    圖表 2022年固定資產投資(不含農戶)主要數據
    圖表 2021-2022年電子信息制造業和工業增加值累計增速
    圖表 2021-2022年電子信息制造業和工業出口交貨值累計增速
    圖表 2021-2022年電子信息制造業營業收入、利潤總額累計增速
    圖表 2021-2022年電子信息制造業和工業固定資產投資累計增速
    圖表 2017-2021年研究與試驗發展(R&D)經費支出及其增長速度
    圖表 2021年專利授權和有效專利情況
    圖表 2020年中國直接從事集成電路產業人員規模
    圖表 2017-2021年全球半導體薄膜沉積設備市場規模
    圖表 2020年全球各類薄膜沉積設備市場結構
    圖表 2020年全球薄膜沉積設備競爭格局
    圖表 國內主要廠商薄膜沉積設備布局情況
    圖表 2020-2021年中國晶圓廠薄膜沉積設備中標情況
    圖表 2021年中國晶圓廠薄膜沉積設備中標分布
    圖表 2022年薄膜沉積設備中標情況
    圖表 國內主要薄膜沉積設備招標統計
    圖表 不同制程邏輯芯片產線薄膜沉積設備需求量
    圖表 CVD技術發展歷程
    圖表 CVD設備分類及特點分析
    圖表 當前主流CVD技術對比
    圖表 CVD設備產業鏈
    圖表 2018-2024年全球CVD設備市場規模及預測
    圖表 2018-2024年中國CVD設備市場規模及預測
    圖表 2020年全球CVD設備市場結構占比情況
    圖表 2020年全球CVD設備市場競爭格局
    圖表 國內CVD設備廠商對比
    圖表 2020年全球管式CVD競爭格局
    圖表 2020年全球LPCVD競爭格局(單位:%)
    圖表 2020年全球等離子體CVD競爭格局
    圖表 PVD工藝類型
    圖表 PVD產業鏈
    圖表 2014-2021年中國PVD鍍膜材料市場規模及增速
    圖表 2021年中國PVD市場需求結構
    圖表 2014-2021年全球PVD鍍膜服務產值規模及增速
    圖表 2014-2021年中國PVD鍍膜服務行業產值及增速
    圖表 2014-2021年全球PVD鍍膜服務市場規模及增速
    圖表 2014-2021年中國PVD鍍膜服務行業產值及增速
    圖表 2021年全球PVD鍍膜服務市場區域結構
    圖表 2018-2020年全球PVD競爭格局
    圖表 2020年全球濺射設備競爭格局
    圖表 Zn-Mg合金涂層退火合金化前后試樣的SEM形貌
    圖表 EB-PVD設備工作原理圖
    圖表 工藝流程圖
    圖表 多弧離子鍍原理圖
    圖表 HDPCVD技術填充淺槽示意圖
    圖表 SACVD技術在CMOS邏輯電路ILD介質沉積中的應用
    圖表 FCVD技術用于極端尺寸的微小間隙或者具有復雜輪廓形貌的間隙填充工藝
    圖表 不同生長溫度下的Si Ge選擇性外延生長速率及Ge組分
    圖表 原子層沉積循環原理
    圖表 原子層沉積反應的適宜溫度區間示意圖
    圖表 前驅體空間位阻效應對薄膜生長速率影響的示意圖
    圖表 目前ALD制備的主要納米薄膜
    圖表 傳統多晶硅柵極/SiO2介質層與HKMG結構對比圖
    圖表 存儲芯片結構演變(以NAND為例)
    圖表 三元氧化物納米薄膜
    圖表 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進出口總額
    圖表 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進出口(總額)結構
    圖表 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置貿易順差規模
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口區域分布
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口市場情況
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口區域分布
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口市場情況
    圖表 2020-2021年主要省市制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口情況
    圖表 2022年主要省市制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置進口情況
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口情況
    圖表 2022年主要省市制造半導體器件或IC的化學氣相沉積裝置出口情況
    圖表 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進出口總額
    圖表 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進出口(總額)結構
    圖表 2020-2022年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置貿易順差規模
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口區域分布
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口市場情況
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口區域分布
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口市場情況
    圖表 2020-2021年主要省市制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口情況
    圖表 2022年主要省市制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置進口情況
    圖表 2020-2021年中國制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口情況
    圖表 2022年主要省市制造半導體器件或IC的物理氣相沉積裝置出口情況
    圖表 2020-2022年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進出口總額
    圖表 2020-2022年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進出口(總額)結構
    圖表 2020-2022年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備貿易順差規模
    圖表 2020-2021年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口區域分布
    圖表 2020-2021年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口市場情況
    圖表 2020-2021年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口區域分布
    圖表 2020-2021年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口市場情況
    圖表 2020-2021年主要省市其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口情況
    圖表 2022年主要省市其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備進口情況
    圖表 2020-2021年中國其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口情況
    圖表 2022年主要省市其他制半導體件或集成電路用薄膜沉積設備出口情況
    圖表 2017-2021年中國集成電路產業銷售額及增速
    圖表 2020-2022年中國集成電路產量趨勢圖
    圖表 2020年全國集成電路產量數據
    圖表 2020年主要省份集成電路占全國產量比重情況
    圖表 2021年全國集成電路產量數據
    圖表 2021年主要省份集成電路占全國產量比重情況
    圖表 2022年全國集成電路產量數據
    圖表 2022年主要省份集成電路占全國產量比重情況
    圖表 2022年集成電路產量集中程度示意圖
    圖表 2014-2021年中國集成電路產業結構
    圖表 2016-2021年中國集成電路相關企業注冊數量
    圖表 2020-2022年中國集成電路進出口總額
    圖表 2020-2022年中國集成電路進出口(總額)結構
    圖表 2020-2022年中國集成電路貿易順差規模
    圖表 2020-2021年中國集成電路進口區域分布
    圖表 2020-2021年中國集成電路進口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國集成電路進口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國集成電路進口市場情況
    圖表 2020-2021年中國集成電路出口區域分布
    圖表 2020-2021年中國集成電路出口市場集中度(分國家)
    圖表 2021年主要貿易國集成電路出口市場情況
    圖表 2022年主要貿易國集成電路出口市場情況
    圖表 2020-2021年主要省市集成電路進口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市集成電路進口情況
    圖表 2022年主要省市集成電路進口情況
    圖表 2020-2021年中國集成電路出口市場集中度(分省市)
    圖表 2021年主要省市集成電路出口情況
    圖表 2022年主要省市集成電路出口情況
    圖表 2016-2021年中國光伏發電累計裝機容量
    圖表 2016-2021年中國光伏新增裝機容量
    圖表 太陽能光伏電池分類
    圖表 不同襯底類型電池技術和成本參數對比
    圖表 2016-2021年中國電池片產量
    圖表 2021-2030年各種電池技術平均轉換效率變化趨勢
    圖表 2021年RERC電池片技術市場占比
    圖表 2021-2030年各種電池技術市場占比變化趨勢
    圖表 2016-2021年中國光伏電池相關企業注冊量
    圖表 TOP Con與PERC電池工藝流程及對應設備
    圖表 LPCVD設備和PECVD設備相關指標對比
    圖表 2019-2022年中國新型顯示產業相關政策匯總
    圖表 主要顯示技術對比
    圖表 2015-2020年中國新型顯示產業營業收入及增速
    圖表 2017-2022年中國LED市場規模預測趨勢圖
    圖表 2017-2022年中國OLED市場規模統計預測
    圖表 2019-2024年中國Micro LED市場規模及預測
    圖表 2016-2021年中國封裝測試市場規模及增速
    圖表 傳統芯片封裝工藝流程
    圖表 CPU核心數的結合依賴先進封裝
    圖表 實現Chiplet功能包含的四個主要方面
    圖表 集成電路封裝發展歷程圖
    圖表 2016-2021年中國先進封裝市場規模及增速
    圖表 2016-2021年中國先進封裝規模占全球規模比重情況
    圖表 傳統封裝所需設備
    圖表 先進封裝所需重要設備及材料
    圖表 滬深港重點先進封裝設備材料公司
    圖表 AMAT薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2020年應用材料公司綜合收益表
    圖表 2019-2020年應用材料公司分部資料
    圖表 2019-2020年應用材料公司收入分地區資料
    圖表 2020-2021年應用材料公司綜合收益表
    圖表 2020-2021年應用材料公司分部資料
    圖表 2020-2021年應用材料公司收入分地區資料
    圖表 2021-2022年應用材料公司綜合收益表
    圖表 2021-2022年應用材料公司分部資料
    圖表 2021-2022年應用材料公司收入分地區資料
    圖表 LAM薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2020年泛林半導體綜合收益表
    圖表 2019-2020年泛林半導體分部資料
    圖表 2019-2020年泛林半導體收入分地區資料
    圖表 2020-2021年泛林半導體綜合收益表
    圖表 2020-2021年泛林半導體分部資料
    圖表 2020-2021年泛林半導體收入分地區資料
    圖表 2021-2022年泛林半導體綜合收益表
    圖表 2021-2022年泛林半導體分部資料
    圖表 2021-2022年泛林半導體收入分地區資料
    圖表 TEL薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2020年東京電子綜合收益表
    圖表 2019-2020年東京電子分部資料
    圖表 2019-2020年東京電子收入分地區資料
    圖表 2020-2021年東京電子綜合收益表
    圖表 2020-2021年東京電子分部資料
    圖表 2020-2021年東京電子收入分地區資料
    圖表 2021-2022年東京電子綜合收益表
    圖表 2021-2022年東京電子分部資料
    圖表 2021-2022年東京電子收入分地區資料
    圖表 ASM薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2020年先晶半導體綜合收益表
    圖表 2019-2020年先晶半導體分部資料
    圖表 2019-2020年先晶半導體收入分地區資料
    圖表 2020-2021年先晶半導體綜合收益表
    圖表 2020-2021年先晶半導體分部資料
    圖表 2020-2021年先晶半導體收入分地區資料
    圖表 2021-2022年先晶半導體綜合收益表
    圖表 2021-2022年先晶半導體分部資料
    圖表 2021-2022年先晶半導體收入分地區資料
    圖表 北方華創薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司總資產及凈資產規模
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司營業收入及增速
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司凈利潤及增速
    圖表 2021-2022年北方華創科技集團股份有限公司營業收入/主營業務分行業、產品、地區
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司營業利潤及營業利潤率
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司凈資產收益率
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司短期償債能力指標
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司資產負債率水平
    圖表 2019-2022年北方華創科技集團股份有限公司運營能力指標
    圖表 拓荊PECVD產品矩陣
    圖表 拓荊ALD及SACVD產品矩陣
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司總資產及凈資產規模
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司營業收入及增速
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司凈利潤及增速
    圖表 2021-2022年拓荊科技股份有限公司營業收入/主營業務分行業、產品、地區
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司營業利潤及營業利潤率
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司凈資產收益率
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司短期償債能力指標
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司資產負債率水平
    圖表 2019-2022年拓荊科技股份有限公司運營能力指標
    圖表 中微公司Prismo MOCVD系列發展路線
    圖表 中微公司薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司總資產及凈資產規模
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司營業收入及增速
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司凈利潤及增速
    圖表 2021-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司營業收入/主營業務分行業、產品、地區
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司營業利潤及營業利潤率
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司凈資產收益率
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司短期償債能力指標
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司資產負債率水平
    圖表 2019-2022年中微半導體設備(上海)股份有限公司運營能力指標
    圖表 盛美上海薄膜沉積設備布局
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司總資產及凈資產規模
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司營業收入及增速
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司凈利潤及增速
    圖表 2021-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司營業收入/主營業務分行業、產品、地區
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司營業利潤及營業利潤率
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司凈資產收益率
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司短期償債能力指標
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司資產負債率水平
    圖表 2019-2022年盛美半導體設備(上海)股份有限公司運營能力指標
    圖表 公司光伏領域主要薄膜沉積設備
    圖表 公司半導體領域主要薄膜沉積設備產品
    圖表 高端半導體設備擴產項目總投資
    圖表 高端半導體設備擴產項目具體建設規劃
    圖表 先進半導體設備的技術研發與改進項目總投資
    圖表 先進半導體設備的技術研發與改進項目具體建設安排
    圖表 ALD設備研發與產業化項目總投資
    圖表 ALD設備研發與產業化項目具體建設安排
    圖表 基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目總投資
    圖表 基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目具體進度安排
    圖表 基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目總投資
    圖表 基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目具體進度安排
    圖表 判斷薄膜工藝/設備性能的主要指標
    圖表 2022-2026年全球薄膜沉積設備市場規模預測
    圖表 2022-2026年中國CVD設備市場規模預測

     薄膜沉積工藝是半導體制造中的關鍵工藝。半導體行業中,薄膜常用于產生導電層或絕緣層、產生減反射膜提高吸光率、臨時阻擋刻蝕等作用,由于薄膜是芯片結構的功能材料層,在芯片完成制造、封測等工序后會留存在芯片中,薄膜的技術參數直接影響芯片性能。由于半導體器件的高精度,薄膜通常使用薄膜沉積工藝來實現,晶圓表面的沉積物會在晶圓表面形成一層連續密閉的薄膜。薄膜沉積設備通常用于在基底上沉積導體、絕緣體或者半導體等材料膜層,使之具備一定的特殊性能,廣泛應用于光伏、半導體等領域的生產制造環節。

    隨著下游消費電子需求回暖,疊加汽車電子產業快速擴張,全球半導體產業景氣度高漲帶動半導體設備市場規模持續擴張,2021年全球半導體設備市場規模達1026.4億美元,同比2020年增長44%以上,經歷了2019年產業的整體萎縮,產業回彈規模更快。薄膜沉積設備在晶圓產線各類設備中的價值占比將穩定在20%以上,2020年,全球半導體薄膜沉積設備市場規模達172億美元。就中國半導體設備市場規模而言,政策持續推動疊加芯片國產化需求越加明顯,半導體設備作為影響芯片的關鍵技術組成,整體市場規模持續擴張。2021年中國半導體設備市場規模達296.4億美元,同比2020年增長58%左右。

    政策方面,2022年3月,在第十三屆全國人民代表大會第五次會議上,其中提到加快發展工業互聯網,培育壯大集成電路、人工智能等數字產業,提升關鍵軟硬件技術創新和供給能力。2022年5月,國家發展改革委和商務部聯合發布了《鼓勵外商投資產業目錄(2022年版)(征求意見稿)》,其中將“超大規模集成電路制造用關鍵裝備開發、制造”、“集成電路封裝及測試設備制造”以及“晶圓制造及再生”列入鼓勵類目錄。國家政策鼓勵國內半導體行業內企業向更先進技術水平、更廣泛市場領域、更底層核心技術等方面砥礪前行,完善和發展我國半導體產業水平,為薄膜沉積設備行業提供良好的發展環境。

    中投產業研究院發布的《2022-2026年中國薄膜沉積設備行業深度調研及投資前景預測報告》共十一章。首先,報告介紹了薄膜沉積設備行業的相關概念、半導體設備發展情況,接著,對中國薄膜沉積設備行業發展的宏觀環境以及薄膜沉積設備行業發展狀況作了分析。然后報告分析了薄膜沉積設備的相關技術、進出口情況以及主要應用領域發展情況;接下來,報告對國內外重點企業經營狀況進行了詳細分析;隨后對薄膜沉積設備行業投資進行了分析,并對薄膜沉積設備行業的發展前景進行了科學的預測。

    本研究報告數據主要來自于國家統計局、工信部、半導體行業協會、中投產業研究院、中投產業研究院市場調查中心以及國內外重點刊物等渠道,數據權威、詳實、豐富,同時通過專業的分析預測模型,對行業核心發展指標進行科學地預測。您或貴單位若想對薄膜沉積設備行業有個系統深入的了解、或者想投資薄膜沉積設備相關項目,本報告將是您不可或缺的重要參考工具。

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